ОКПД 2: 28.99.20 — Оборудование и аппаратура, исключительно или в...

Классификатор	Код	Расшифровка	Уровень вложенности, название уровня	Число дочерних кодов
ОКПД 2	28.99.20	Оборудование и аппаратура, исключительно или в основном используемые для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев	5, вид	10

Уточняющие коды

Запись в классификаторе с кодом 28.99.20 содержит 10 уточняющих (дочерних) кодов.

28.99.20.110	Оборудование для эпитаксиального выращивания полупроводниковых структур
28.99.20.120	Оборудование химико-литографическое для обработки полупроводниковых пластин и формирования топологического рисунка
28.99.20.130	Оборудование для ионной имплантации примесей в полупроводниковые пластины
28.99.20.140	Физико-термическое оборудование
28.99.20.150	Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов
28.99.20.160	Оборудование лазерное для обработки полупроводниковых пластин
28.99.20.170	Оборудование для химико-механического утонения, полировки, планаризации, бондинга и дебондинга полупроводниковых пластин
28.99.20.180	Оборудование для механической резки полупроводниковых слитков (булей) и пластин
28.99.20.190	Оборудование сборочное для производства интегральных схем и дискретных полупроводниковых приборов
28.99.20.290	Оборудование, исключительно или в основном используемое для производства полупроводниковых слитков или пластин, полупроводниковых устройств, электронных интегральных схем и дискретных полупроводниковых приборов прочее, не включенное в другие группировки